리가쿠, 최첨단 반도체 공정을 위한 TXRF 분석 시스템 ‘XHEMIS TX-3000’ 판매 시작

X선 분석 시스템의 글로벌 솔루션 파트너이자 리가쿠 홀딩스(Rigaku Holdings Corporation)(본사: 도쿄도 아키시마; CEO: 준 카와카미(Jun Kawakami))의 그룹사인 리카구(Rigaku Corporation)가 반도체 제조에서 웨이퍼 표면의 미량 오염 분석을 지원하는 전반사 X선...